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    半导体附属装备及核心零部件

    核心零部件

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    半导体废气处理设备

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    真空设备

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    干式真空泵是指不使用油或液体进行密封的非接触式真空泵。。

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    半导体洁净室EHS处理设备

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    温控设备

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    半导体专用温控设备(Chiller)

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